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超声波抛光是超声波加工的一种形式。它是用振动工具推动磨粒冲击工件表面，降低被加工表面的粗糙度，提高加工精度的有效方法。特别适用于硬度高，形状复杂，带有窄缝，深槽的型腔表面。抛光时阻力小，精度高。它是一种缩短模具制造周期，提高质量，减轻工人劳动强度的模具型腔加工工艺，其工艺过程如下：
1 抛光前工件的准备
抛光前，要应用其他加工方法加工出和图纸要求形状，尺寸相同的型腔。为了达到加工要求，型腔抛光的加工余量与抛光前被抛光表面的质量及抛光后的表面质量要求有关。如电火花加工后的模具型腔表面，其最小抛光余量应大于电火花加工后表面点蚀凹坑深度或加工变化层厚度，以便将热影响层去除。所以，用粗规准进行电火花加工后表面余量为0.15mm左右。对精规准加工后的表面抛光余量为0.02~0.05mm。对要求较高的型腔抛光前的表面粗糙度应达到Ra=1025~2.5um.
2 抛光工具的制造及装夹
抛光工具常用材料为工具钢，硬木或竹片进行制造。为适应型腔不同部位如窄槽，圆角型面的抛光，应将抛光工具设计制造成相应的形状和尺寸，并按磨料基本磨粒的平均直径缩小。对于已制造的工具用粘合，焊接或机械固定的方式，固定在变幅杆端部。机械固定时，要将个接触面用凡士林油密封。
3 抛光磨料，工作液的配制
一般磨料直径越小，被抛光的精度越高，表面粗糙度越低。磨粒硬度高，颗粒组，则抛光速度快。一般用碳化硼或碳化硅为磨料。对硬度很高的可以用人造金刚石为磨粒。
4 粗抛光和精抛光
抛光工序分为粗抛光和精抛光。一般粗抛光时为了提高速度，选择较高的频率和振幅，较大的静压力，硬质的磨料和较粗的颗粒。粗抛光后的表面粗糙度应达到Ra=0.63~0.01um。
精抛光时，选择相对粗抛光所用的磨料颗粒更细，振幅，静压力较小进行抛光。精抛光后表面粗糙度可达Ra=0.63~0.08um或更低。
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